Bộ hóa hơi chất lỏng Horiba Liquid Vaporizer

Máy hóa hơi HORIBA có thể được liên kết với một loạt hệ thống nạp đầy tự động của HORIBA để cung cấp hơi liên tục mà không cần thời gian chờ.

HORIBA cung cấp nhiều hệ thống hóa hơi nguồn chất lỏng để làm bay hơi các tiền chất một cách ổn định và hiệu quả. Các sản phẩm của HORIBA đáp ứng các yêu cầu khắt khe của thị trường sản xuất chất bán dẫn và các ứng dụng có độ tinh khiết cực cao khác cho các tiền chất như HMDSO, OMCTS, TEPO và TEOS.